氧气、水蒸气以及油蒸气最容易对真空计产生影响。这3种常见的气体会对真空计具体会造成什么影响呢？下面我们一起来了解一下吧！

一、氧气对真空计的影响

氧气可以用麦氏真空计进行测量，但是当氧分压过高时，会使水银表面发生氧化，影响水银的表面张力，使水银在毛细管中移动时位置不准确，造成测量误差。

普通热传导（电阻）真空计的灯丝在高温下会氧化，从而改变热丝的表面状态，引起规管零点漂移和灵敏度的改变，应采用抗氧化热丝的规管。热阴极电离规灯丝也极易氧化，使其寿命缩短。

如前文所说，对氧分压较高的气体环境，在粗低真空范围内可用薄膜真空计进行测量；高真空时则可使用辐射真空计和冷阴极规管。

二、水蒸气对真空计的影响

水蒸气是可凝性气体，压缩式真空计测量时要压缩被测气体，这会使水蒸气凝结。因此在一般情况下不能使用压缩式真空计对水蒸气进行测量。它对热传导真空计的影响与氧气一样，同样会使规管零点漂移和灵敏度发生变化。

通常情况下，对水蒸气的测量可采用U形压力计和薄膜规、辐射真空计、粘滞规、克努曾真空计等；冷阴极规管不会发生氧化问题，也可以用于水蒸气分压高的真空系统的测量。

电阻真空计和钨阴极热阴极电离计规管灯丝的材料为钨，钨丝温度较高，高温灯丝与水蒸气发生氧化作用，水蒸气会被高温钨表面分解并与钨反应生成氧化钨和原子态氢，氧化钨蒸发后便附着在规管玻壁上。原子态氢则从管壁上的氧化钨中夺取氧再变成水蒸气。这样循环下去，水蒸气就起着运输钨的作用。致使钨阴极不断的蒸发，使灯丝迅速损坏。特别是水蒸气分压大于10-2Pa时，规管的寿命很短，因此不适合用于测量水蒸气。

三、油蒸气对真空计的影响

在采用有油的抽气系统（机械泵、油扩散泵）抽气时，系统中存在大量的有机油蒸气及其分裂物。它们的蒸气压都比较低，因此不能用压缩式真空计进行测量。如用压缩式真空计测量机械泵的极限真空度时，要比用热传导真空计测得的数据高一个数量级。用油U型压力计测量油蒸气时，因工作油可以溶解油蒸气，所以也不能得到正确的指示。

用热传导真空计或电离真空计测量油蒸气时，会因油蒸气污染灯丝或在高温阴极上分解生成碳氢化合物，严重的污染电极和管壁，使热传导情况改变，而使规管的灵敏度和特性发生明显的变化，造成测量误差。

因此，在油蒸汽分压高的系统中，低真空时建议用薄膜真空计测量；高真空时则可使用辐射真空计进行测量。