检漏方式多种多样,本节主要介绍两种高感度的检漏方式。

1.残留气体分析法 残留气体分析使用四极滤质器。通过分析真空腔体内的残留气体,当某种特定的气体量多的时候可知有漏气。下图是有检测残留气体的例子。没有漏气时,质量14,28,32的峰值分别是CH2,CO,O2,如果有漏气,则N,N2,O2会从大气侧流入,使相应的质量数峰值增加。

2.探测法 从外部用氦气吹向被检测部,然后由连接在真空腔体上的氦质谱检漏仪来检测侵入的氦气,这种方式可检测出极少的漏气。

检测气体使用氦气的原因如下：

1.氦气在空气中的存在量仅为5ppm,如果有漏气容易查清原因。 2.因为是惰性气体,在真空腔体内不容易吸附在腔体上,容易放出。 3.从腔体放出的气体中几乎不包含氦气。 4.没有毒性。